10月14日消息,Universal Display Corporation(UDC)旗下全资子公司Universal Vapor Jet Corporation(UVJC)宣布,正式发布NovaJet——首款基于其专有通用蒸气喷射印刷(UVJP)平台打造的商用系统。
图片来源:UDC
该系统目前已开放订购并可随时部署至客户现场,并首次亮相于10月14日至16日在深圳举行的湾区半导体产业生态博览会。
据悉,NovaJet为材料科学家、工艺工程师和制造商提供即用型实验平台,支持功能性材料直接沉积到硅晶圆、玻璃、聚合物及金属等基板上,可用于评估先进材料、开发沉积工艺并验证各类应用。
该系统基于UVJP干式沉积技术,全程无需溶剂、掩膜或传统光刻工艺,并将多道薄膜制备工序整合至单一平台。
由于无需加热基板,NovaJet还适用于易损、非平面及温度敏感的材料表面,可在单一工艺步骤中实现多种材料及梯度成分配比,覆盖半导体先进封装、钙钛矿与太阳能、生物医药、表面能改性、传感器与监测系统等方向。
工艺在NovaJet上验证通过后,UVJC可为客户提供更大规模、自动化或定制化的UVJP系统,包括集成式、卷对卷及大面积生产系统,协助其向量产过渡。
UVJC成立于2024年12月,总部位于新加坡,承接了UDC多年研发的OVJP(有机蒸气喷射印刷)业务。而UDC是全球OLED发光材料与技术的龙头企业,其磷光OLED材料及专利授权体系覆盖三星显示、LG显示、京东方、维信诺、TCL华星等主要面板厂商。
2023年,UDC曾宣布OVJP技术研发取得进展,实现完全印刷、高分辨率RGB并排磷光OLED叠层;此后UDC关闭其位于加州的OVJP中心,将业务整体移交UVJC,并计划投入3900万美元用于UVJP相关设备、工具与人才建设。
此次UVJC借湾芯展完成行业展会首秀并推出首款商用系统,意味着UDC的蒸气喷射印刷技术从实验室走向商业化应用,也显示出OLED材料厂商向半导体及先进制造装备领域延伸的动向。湾芯展之后,UVJC还计划携NovaJet亮相12月1日至4日在美国波士顿举行的2026 MRS秋季会议暨展览会。(来源:UDC、集邦Display整理)