High-NA EUV之争:英特尔与台积电走向两种先进制程路线

High-NA EUV之争:英特尔与台积电走向两种先进制程路线

  • 2026-08-11
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关键词: 先进制程 High‑NA EUV ASML 光刻技术 技术路线

随着芯片制程不断逼近物理极限,先进制造竞争正在从单纯的“节点竞赛”,转向晶体管架构、光刻技术、先进封装以及制造生态的综合竞争。

过去几年,全球半导体产业围绕3nm、2nm展开竞争,晶体管结构创新、背面供电技术以及设计技术协同优化成为推动芯片性能提升的重要方向。但在晶圆制造环节,光刻技术依然是支撑芯片持续微缩的关键。

作为全球唯一EUV光刻机供应商,ASML正在推动下一代高数值孔径极紫外光刻技术(High-NA EUV)发展。High-NA EUV是在现有EUV技术基础上的升级,目前主流EUV设备采用0.33数值孔径(NA),而High-NA EUV则将NA提升至0.55,可进一步提高光刻分辨率。据报道,High-NA EUV相比传统EUV可实现约1.7倍分辨率提升,并有望减少部分关键层的多重曝光需求。

不过,High-NA EUV目前正处于从研发验证迈向商业化量产导入的关键阶段。面对这一下一代制造技术,英特尔与台积电选择了不同路径:英特尔希望通过提前布局High-NA EUV重新建立先进制程优势;台积电则继续优化现有EUV体系,通过晶体管架构创新、工艺优化以及成熟量产能力维持竞争力。

两家公司不同选择背后,并非简单的技术路线之争,而是先进制造企业在技术演进与商业化效率之间做出的不同选择。


来源:爱集微