被称为“中国刻蚀机之父”的尹志尧，在美国深耕数十年，手握几百项专利，一手托起两家世界顶尖设备公司。60岁时，他毅然放弃百万年薪回国创业，回国时，所有员工不许带文件，用空白电脑从头开始。22年后，中微公司市值突破2000亿元，设备进入台积电5纳米、3纳米先进制程供应链，他本人也恢复了中国国籍。

5月16日，中微公司董事长尹志尧在做客央视财经《对话》节目中表示，国内大部分客户都愿意用国产设备，但还是先入为主认为国外设备比较好。

中芯国际创始人、兴华芯创始人张汝京也接受了采访。尹志尧回忆创业初期的支持：“还没决定回来的时候，我就问张汝京博士，如果我回国做设备，你支持吗？ ”张汝京表示：“我一定支持。” 

面对国产设备的试错风险，张汝京带头“吃螃蟹 ”：“试新的设备一定会有风险，这个时间成本我们来负责。” 正是这份包容与信任，让中微设备快速完成验证迭代，尹志尧透露：“到现在为止，中芯国际的设备至少800台来自中微。”

尹志尧在节目中呼吁更多下游客户支持国产设备：“希望国内客户能给设备公司更多机会。”张汝京也表示：“如果没有人使用，设备永远不会进步。”

中国“半导体之父”张汝京表示：“试新的设备一定会有风险，但是我们试的时候不会贸然试很多，就是小批量的，先试5片、25片，再就是50片、100片，而且时间蛮长的，双方都要负责。比如我们用中微的设备，设备给我们的时候，我们并没有付钱，这是中微投资者的，但是后面测试时，芯片就是我们自己负责，时间成本是我们负责，大家配合很好以后成功了，这个投资绝对划得来。如果没有人使用国货，怎么会进步呢？不使用就不知道毛病在哪里，不知道毛病怎么改，也不要觉得我一试不好，不用了。”

尹志尧表示，国内客户采用国产设备有一个思想的障碍，就是实际的数据证明，国外的领先设备引进后，一进生产线问题很少。可是国内的设备一进生产线，开始总有很多问题，需要花很多时间解决。这是一种先入为主的概念，认为国外的设备比较好，而国内设备有很多问题。

尹志尧以其20年在美国工作的经验分享称：“其实海外设备厂商每一台新设备进入最先进像台积电的、三星这样的客户产线时，一开始的表现也是并不完美。也是需要经过两三年，并在台积电、三星这样领先的公司帮助下，逐渐将设备调试改进得越来越好，客户也提了很多意见。然后当这个设备引入到中国时，实际上已经经过两三年的历练了，所以国内客户拿到的时候肯定是好的。国产设备一开始进入国内生产线，也同样会存在问题，并不是说国内设备真的就做得不好，是因为环境不一样。所以希望国内客户能给国产设备企业更多机会。”

尹志尧表示，2023年12月，中微公司决定进入大平板设备领域（此前大概有17种工艺设备全部依赖进口）。这种设备重达150吨，长15米宽15米，有两层半楼高。按照尹志尧的经验，开发这样的设备至少需要3-7年。但中微公司的精锐团队只用12个月就从一张白纸做出了可运转的设备，不到4个月就达到客户下一代要求，18个月就运到生产线上并通过核准。我们现在已经有能力来做最先进的设备。

从零起步的自主创新，中微公司用三年时间打破国外刻蚀机领域的长期垄断。尹志尧介绍：“我们首创了甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，后来国际三大设备公司都按这个方向做，现在100%的CCP刻蚀机都在用这个方法。” 

此外，中微首创的双台机设计，实现了单台设备同时刻蚀两片硅片，材料节省30%以上，且成本更低、性能更稳定。2007年，中微就推出了首台双反应台国产刻蚀设备，而这份突破的背后，离不开国产半导体产业的“双向奔赴”。（校对/赵月）