5月11日，德沪涂膜设备宣布完成首台Micro LED专用精密狭缝涂布设备交付，标志着公司正式进入Micro LED工艺装备领域。该设备主要面向Micro LED功能层制备及中试开发场景，覆盖基板处理、精密涂布、烘烤及在线检测等工艺环节。

图片来源：德沪涂膜

据介绍，该设备采用高集成化设计，可兼容不同尺寸基板及多种上料方式，并集成基板清洗、精密狭缝涂布、加热烘烤、在线膜厚测量等功能，实现从上料到成膜检测的连续化工艺流程。相比传统多设备串联模式，可降低中试阶段的工艺切换复杂度，提升开发效率。

在核心工艺方面，Micro LED功能层对膜厚均匀性及起涂稳定性要求较高。德沪表示，其针对涂布起始段膜厚控制需求，开发了新的供液泵系统、供液系统及工艺控制软件，并通过工艺优化提升膜层均匀性与稳定性，以满足Micro LED中试及多品种开发需求。

资料显示，德沪涂膜设备成立于2014年，主要从事钙钛矿电池、平板显示、集成电路先进封装等领域的精密涂膜设备研发与制造。此次切入Micro LED赛道，也显示出公司正将精密成膜技术进一步延伸至新型显示领域。

值得一提的是，随着Mini/Micro LED产业化推进，相关设备需求也持续增加。5月11日，博辉特宣布，在京东方珠海晶芯Mini/Micro LED COB扩产项目设备招标中成功中标，涉及自动化在线传输系统、真空贴膜机及扩晶机等设备。

此外，4月26日，矽电股份宣布，已分别与江西兆驰半导体有限公司及江西兆驰晶显有限公司签署固定资产采购合同，相关设备主要用于更小尺寸、更高精度的Mini/Micro LED芯片测试。（LEDinside整理）