台积电前往美国、日本、德国及中国大陆投资设厂，2025年第三季度获得政府补贴47.7亿元新台币，累计前三季获得718.98亿元新台币政府补助，近2年共获得1470亿元新台币补助。

据台积电财报数据显示，台积电子公司TSMCArizona、ESMC、JASM及台积电南京厂等，得益于美国、德国、日本及中国大陆的设厂运营，取得当地政府补助款，主要用于补贴不动产、厂房及设备购置成本，以及建造厂房与生产运营所产生的部分成本与费用。

台积电继上半年取得671.28亿元新台币政府补助后，第三季再获得47.7亿元新台币补助，今年前三季累计获得718.98亿元新台币补助；加计去年取得751.64亿元新台币补助，台积电近2年累计获得1470亿元新台币补助。

台积电指出，TSMC Arizona、ESMC、JASM及台积电南京等台积电子公司分别与当地政府签署补助合约，合约内容包含应遵守的建厂时程及其他条件。另TSMC Arizona得针对符合资格的投资，申请投资金额的25%作为投资补助。

台积电美国亚利桑那州第1座晶圆厂于2024年第四季量产4nm制程，第2座晶圆厂完成建设，将量产3nm制程，正加速量产进度。台积电规划在亚利桑那投资1650亿美元，建置6座晶圆厂、2座先进封装厂和1座研发中心。

台积电日本熊本第1座晶圆厂于2024年底量产，第2座厂营造工程已经展开，量产计划依客户需求和市场状况而定。德国德累斯顿厂开始兴建，进展良好，量产计划也将依客户需求及市场状况而定。台积电南京厂于2022年添加28nm制程产能。