近年来，随着5G、汽车电子、人工智能、工业物联网等新兴产业的发展，半导体需求迅猛增长。全球半导体贸易统计协会（WSTS）数据显示，2020年全球半导体销售额达4403.9亿美元，同比增长6.8%，以存储器和专用芯片为代表的半导体产品开始进入繁荣周期。

半导体专用设备市场与半导体产业景气状况紧密相关，其中芯片制造设备是半导体专用设备行业需求最大的领域，下游新兴产业的快速发展是半导体设备行业的最大驱动力。

芯片的制造分工

2020年全球半导体设备销售额约711亿美元，同比增长19.2%。其中，晶圆制造设备612亿美元，占比86.1%，测试设备60.1亿美元，占比8.5%，封装设备38.5亿美元，占比5.4%。

2020年全球半导体设备销售额按类型占比（单位：（亿美元，%）

资料来源：SEMI

从营收看，全球前十大半导体设备公司绝大多数是美、日企业，市场集中度高，2020年行业CR5占比66%，CR10占比77%，全球半导体设备竞争格局呈现高度集中状态。

国内半导体设备行业起步较晚，总体营业规模上与海外巨头差距较大，但近年来国内企业不断加大投入，在技术上不断做出关键性的突破，打破了许多领域的空白，部分细分市场已开始实现国产替代。例如，中微刻蚀机研发已到达5nm的技术节点；北方华创和拓荆的薄膜沉积设备已达到14/28nm的技术节点；至纯科技的清洗设备打入了中芯国际、华虹等企业的供应链；华峰测控的测试机打入了日月光、意法半导体等国际封测龙头的供应链。

华强电子产业研究所编写了《半导体设备行业行业发展现状与前景展望》报告，报告以半导体设备行业为主题展开研究，分析了半导体设备行业的发展现状、驱动因素、主要细分市场发展情况，以及国内外技术差距等，对行业发展前景作出展望参考。

目录

研究背景

一、半导体设备行业发展现状分析

1.1 新旧应用需求推动，半导体芯片规模不断扩大

1.2 为应对产能缺口，晶圆厂积极扩产

1.3 行业景气度高企，产业资本开支大幅上修

1.4 全球半导体设备市场规模

二、芯片制造流程梳理

三、半导体设备行业竞争格局

3.1 全球半导体设备集中度高，国外企业占据市场主导地位

3.2 部分领域国内厂商打破空白，技术不断追赶

3.3 国内半导体设备厂商产品线逐步完善，国产化率逐渐提升

四、半导体设备整体市场分布

五、半导体设备细分市场发展分析

5.1 光刻设备

5.2 刻蚀设备

5.3 薄膜沉积设备

5.4 清洗设备

5.5 离子注入设备

5.6 热处理设备

5.7 CMP设备

5.8 去胶设备

六、国内外企业案例分析

6.1 国外案例

6.2 国内案例

七、行业发展前景展望

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