卫浴巨头TOTO投资710亿日元加码半导体陶瓷业务
日本卫浴巨头TOTO在2026年10月30日宣布了一项与其主业反差巨大的投资：在福冈县丰前市的TOTO Fine Ceramics丰前工厂厂区内，新建一座用于量产半导体制造装置核心部件的次世代产品生产设施，投资额约600亿日元，计划2029财年上半年投产。
这笔投资并非单一项目。除丰前工厂的600亿日元新设施外，TOTO还将在大分县中津市的两家工厂——TOTO Sanitechno中津工厂与TOTO Fine Ceramics中津工厂——投入约110亿日元，用于AD部件次世代品的量产设备，2028财年内投产，两项合计约710亿日元。
（TOTO半导体陶瓷业务生产与研发路线图）
新设施本身规模创下TOTO陶瓷业务的历史纪录：三层钢结构，建筑面积约1.2万平方米，总建筑面积约3.6万平方米，是其陶瓷业务迄今最大的生产厂房。丰前与三个中津工厂分工明确——丰前新厂同时量产静电吸盘与AD部件的次世代产品，而中津两厂专攻AD部件。
资金背后有扎实的盈利支撑。2026年3月期（2025财年），TOTO陶瓷业务销售额674亿1400万日元，仅占集团合并销售额7374亿4100万日元的约9%；但该业务分部利润达289亿4300万日元，超过了住设业务全体的279亿2100万日元，利润率高达约43%，而全球住设业务仅约4%。这一结构性反差意味着，TOTO在利润意义上已经是一家半导体部件公司。
TOTO此前还披露，中津的110亿日元设备投资属于2026年4月30日公布的“约300亿日元”成长投资计划的一部分，加上已公布的烧成栋（生产厂房）与研发栋（研发设施）项目，该计划总额微调至约330亿日元，而丰前的600亿日元则是另行追加的大规模增产投资。
福冈县知事在官方评论中表示，新设施将量产应对AI与数据中心旺盛需求的“静电吸盘”“AD部件”次世代产品，“为福冈县半导体产业集群的形成做出贡献，衷心欢迎这一决定”。
静电吸盘与AD部件
静电吸盘（ESC）是半导体刻蚀设备中固定硅晶圆的关键部件，利用静电力吸附晶圆。TOTO官网技术资料显示，其陶瓷部采用耐等离子体性优异的高品位材料，以极高纯度烧结成致密陶瓷体，因而对长时间等离子体照射造成的腐蚀具有突出的耐久性。这项耐久性正在变得越来越值钱：存储半导体为扩大容量持续推进存储单元垂直堆叠，刻蚀工程为贯穿更深地层而不断大功率化，对吸盘耐久性的要求随之水涨船高。静电吸盘本质上属于耗材，在等离子体侵蚀下会磨损并需要定期更换，这一属性使其需求随晶圆厂开工率形成重复性收入。
（静电吸盘）
在市场格局上，全球市场研究机构Semiconductor Insight的数据显示，2024年新光电气工业（SHINKO）以约44%的收入份额位居晶圆用静电吸盘市场首位，TOTO以约17%的份额位居第二。
AD部件则承载着TOTO另一段独特的技术故事。AD法（Aerosol Deposition，气溶胶沉积法）利用陶瓷微粒的常温冲击固化现象：将陶瓷微粒混入气体形成气溶胶，通过喷嘴高速喷射撞击基材，在常温下形成高致密、高附着度的陶瓷膜。这项技术颠覆了“陶瓷必须高温烧制”的常识。资料显示，该现象于1994年由日本产业技术综合研究所产总研（简称“产总研”）发现，TOTO自1999年起与产总研开展共同研究，2005年起启动面向半导体制造装置的实用化与量产技术开发，2011年由TOTO实现实用化。
（AD部件）
AD部件的商业价值在于解决刻蚀设备内部的“发尘”难题：等离子体腐蚀装置内壁产生的颗粒落在晶圆上会造成废品。TOTO将耐等离子体的氧化钇（Y2O3）陶瓷膜沉积在装置内部天花板部件上，官方数据显示可将粉尘发生数抑制至约1/10至1/20，部件寿命延长约10倍。这一成果获得了日本国内制造业最高荣誉——2015年第6届“制造日本大奖”内阁总理大臣奖，TOTO与集团共7名相关人员获奖。
四十年的技术迁移
TOTO的半导体故事始于1984年。这一年，TOTO以百年卫生陶器生产中积累的成型与烧制技术为基础，正式设立陶瓷事业部，将卫浴技术迁移到工业陶瓷领域。
这段迁移远比外界想象的漫长。据日本媒体报道，陶瓷事业部在1990年代至2010年代曾推出多条产品线，多数在与国内外对手的竞争中失利，约30年间持续亏损，内部甚至被称为“健康的亏损事业”。日本媒体将TOTO持续扶持该部门的策略称为“种子播撒”——为不确定回报的探索性工作持续投入，等待属于它的时刻。那个时刻大约在2016年到来：TOTO砍掉了亏损产品线，集中资源聚焦静电吸盘。
此后扩张明显提速。2018年，TOTO将陶瓷开发功能整合至神奈川县茅崎市的综合研究所；2020年，中津工厂新建第4栋厂房，以智能工厂化将人均生产率较2017年度提升约1.5倍，生产量较2013年度提升约2倍。陶瓷业务的销售额占比一度达到80%销往海外。
2023年与2024年，TOTO连续两年获得刻蚀设备巨头泛林集团（Lam Research）的供应商卓越奖。半导体业务也从财务上反哺集团——在2025年3月期，陶瓷业务销售额503亿日元、营业利润204亿日元，同比增长86%，2026年3月期再增至674亿日元与289亿日元，2027年3月期公司计划销售额达855亿日元。
